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怎样保证分子真空泵稳定且持久地运行？

• 作为一种真空获得设备，分子真空泵（以下简称分子泵）因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流设备，在科学仪器、工业生产中得到广泛应用。图表：分子泵在下游中的主要应用1在进入21世纪之前，分子泵主要存在于科研与国防军工领域。近十年间，随着镀膜、节能灯、显示屏等新兴产业的兴起，分子泵逐渐在民用领域崭露头角并取得了快速发展2。尤其是半导体产业国产化进程的不断推进和新能源锂电池、光伏设备需求增长，使得国内分子泵行业的市场规模一直处于上升趋势。相关机构预测到2026
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