美泰电子RF MEMS 器件

美泰电子科技有限公司

美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。      
    

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。

特点

硅腔体结构，体积超小
高功率容量

50Ω微带共面波导输出，键合使用

频率：12~40GHz
MEMS工艺，精度高，一致性好
可按要求加工定制
 

环境参数

工作温度：-55~+85°C

储存温度：-55~+125°C

典型应用

雷达、航天航空、微波通信

特点：

硅腔体结构，体积超小
高功率容量

50Ω微带/共面波导输出，键合使用
频率:12～40GHz

MEMS工艺，精度高，一致性好
可按要求加工定制

环境参数
工作温度:-55+85°C

储存温度:-55+125°C

典型应用
雷达、航天航空，微波通信 

特点：
硅基MEMS工艺，体积小、重量轻

频率:2～50GHz

高性能、全屏廠、抗干扰、微波性能好

裸芯片，50Ω共面波导输出，键合使用

带通、带阻、低通、高通
指标一致性好，适合批产

环境参数
工作温度:-55~+85°C
贮存温度:-55～+125°C

平均功率：≤3W（连续波）

典型应用
雷达、航天航空，电子系统

特点：

硅基MEMS微纳米技术
命体积小、成本低
加厚介质膜工艺，防静电能力强、可靠性高

可键合、表贴使用，满足用户不同安装要求
加工周期短，部分取代LTCC产品
较MMIC产品有更高Q值 

环境参数
工作温度:-55～+85°C
贮存温度:-55～+125°C
平均功率:1Wmax@25°C
 
电性能规范
中心频率:0.5-20GHz
健合型微集成LC法
1db分数带宽:10-100%
VSWR: 16.1 :1
特性阻抗:50Ω

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美泰电子科技有限公司

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