美泰电子RF MEMS 器件

发布人：传感器技术时间：2021-08-24 来源：工程师发布文章

美泰电子科技有限公司

美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。

RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片，拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能，低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50GHz，具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。

1、MEMS 环行器

特点

硅腔体结构，体积超小
高功率容量

50Ω微带共面波导输出，键合使用

频率：12~40GHz
MEMS工艺，精度高，一致性好
可按要求加工定制

环境参数

工作温度：-55~+85°C

储存温度：-55~+125°C

典型应用

雷达、航天航空、微波通信

2、MEMS 隔离器

特点：