- 欧书俊，张国俊，王姝娅，戴丽萍，钟志亲（电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 611731） 摘 要：本文针对一字型悬臂梁RF MEMS开关，提出了两种降低驱动电压RF MEMS开关的方法，分别为：增大局部驱动面积和降低弹性系数。根据这两种方法设计了4种形状的悬臂梁开关，分别为增大局部驱动面积的十字型梁，降低弹性系数的三叉戟型、蟹钳型和折叠型梁。在梁的长度、厚度和初始间隙等参数一致的情况下，通过CMOSOL软件建模仿真得到了这4种悬臂梁的驱动电压，分别为7.2 V、5.6 V、
- 关键字：
202007 RF MEMS 悬臂梁 驱动电压 弹性系数
- 以悬臂梁为基本构架，以FBG为敏感元件，设计了一种新型的具有温度自补偿特性的FBG位移传感器方案。对悬臂梁进行分析，推导出位移传感器的传递函数，然后对其定标并实际测量，得到了传感器线性度和灵敏度同悬臂梁长度以及光纤布拉格光栅的位置之间的关系，并从结果看出本传感器精度高，运行稳定，且有好的重复性，线性范围最大为16mm。
- 关键字：
光纤光栅 悬臂梁 位移传感器 传递函数 温度自补偿
悬臂梁介绍
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