- 加利福尼亚州米尔皮塔斯，2019年7月9日- KLA公司（纳斯达克股票代码：KLAC）今日发布392x和295x光学缺陷检测系统和eDR7380™电子束缺陷检视系统。这些全新的检测系统是我们公司旗舰产品系列——图案晶圆平台的进一步拓展，其检测速度和灵敏度均有提升，代表了光学检测的新水准。全新电子束检视系统的创新使其自身价值进一步稳固，并成为缺陷和发现其产生根源之间的必要一环。对于领先的3D NAND、DRAM和逻辑集成电路（IC），该产品组合将缩短整个产品周期，加快其上市时间。“为了有利润地制造下一代内存
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KLA 光学缺陷检测 eDR7380™电子束缺陷检
edr7380™电子束缺陷检介绍
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