内地备受瞩目的本土设备业者中微(AMEC)借着年度半导体盛会SEMICON Japan发表其首款蚀刻(Etch)及高压化学气相沉积(HPCVD)设备,并以台积电为目标客户。这次内地「后进」半导体设备业者首次公开问世先进半导体工艺设备,引起业界两极化看法,不过,无独有偶,台湾或内地都正如火如荼推动半导体设备制造的「在地化」进程。
中微在SEMICON Japan开展期间对外宣布,推出适用先进半导体工艺65~45纳米设备机种,引发半导体业内震撼及广泛讨论。中微指出,这次推出的离子蚀刻机(ion et