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国内集成电路装备产业的总结与展望

• 尖端光刻机设备及零部件方面的核心领军人物之一朱煜老师给大家分享集成电路最卡脖子的装备产业中值得思考的问题。集成电路装备产业的春秋时期众所周知，春秋时代周文王分封诸侯，而后形成春秋五霸。我国集成电路02 专项启动之后，在整体战略部署下，国内创新团队和企业已有一个整体布局，每个企业都有专攻的一个领域，如今从无到有，从低端到高端，已经实现了一个非常好的水平。在“春秋时代”，各企业一般是专攻1~2 种装备，并且都是从0 开始去追赶，在02 专项重要的支持下，各企业纷纷取得突破。在企业数量有限的情况下，针对一个装备
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