新国标推动洁净技术迈上新台阶

　　电子产品不仅对生产环境的空气洁净程度有严格要求，而且还对与生产过程直接接触的各种高纯介质——— 高纯水、高纯气体、高纯化学品等的杂质含量等有十分严格的要求。某些电子产品对振动、静电、电磁干扰、电力供应等也有较为严格的要求。为此，电子工业洁净厂房一般配备下列设施，如净化空调系统、专用净化设备、噪声控制设备、防微振设备、防静电设备、防电磁干扰设备、电气、照明、高纯物质(高纯水、高纯气、高纯化学品)供应设备、报警系统、节能设施以及通信设施等。微电子产品的微细化，要求供应纯度极高的气体、化学品和纯水。目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级，要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm，杂质浓度为19-9级或10-12级。

　　新国标推动洁净技术上台阶

　　基于上述电子工业洁净厂房的特点，现有国家标准《洁净厂房设计规范》(GB50073)中的有关规定已不能满足需要，尤其是涉及化学分子污染物的控制以及安全、消防等方面的规定(如洁净建筑防火与疏散、易燃易爆气体和化学品的贮存输送、安全消防报警设施等)。由国家住房和城乡建设部和国家质量监督检验检疫总局联合发布，并从2009年7月1日实施的国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)，正是以现代电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据，结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况，广泛调研、整理相关的专题报告和测试资料，认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验，广泛征求了国内有关单位的意见制定而成的。国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)共分15章和4个附录。主要内容有：总则、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、洁净室建筑设计、空气净化和空调通风设计、给水排水设计、纯水供应、气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计、噪声控制以及微振控制等。该规范是强制性标准，其中设有强制性条文近50条，在规范中黑体字的条文为强制性条文，必须严格执行。

　　所有进行电子工业洁净厂房设计建造的单位和相关科技人员都应认真执行、实施规范中的强制条文。与此同时，推荐性条文的各项规定使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依，有章可循。我们希望通过认真执行、实施国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)，使我国电子工业洁净厂房的设计建造达到更高的水平。同时，我们也希望在新国标实施中得到各有关单位、科技人员的修改和补充意见，使之不断完善。