也谈芯片生产中的“过程能力指数”分析
图四 过程能力指数的规格化箱型图Normalized Box Plot
当然,传统的过程能力指数的具体数值也很重要,我们可以参考“过程能力指数列表”对所有16个质量指标进行定量的评价,其内容包括常用的Cp、Cpk和PPM值。
总之,半导体制造业面临着巨大的质量和成本的挑战。想象一下,在极其苛刻的洁净空间内,不到1/2平方英寸芯片范围里,制作出数百万个微米量级的元器件平面构造和立体层次……单凭这一点就应当充分重视芯片制造中的过程能力分析。专业质量管理统计分析软件JMP有机地整合了质量统计理论、数据可视化手段和半导体制造业的行业特 点,将复杂的统计分析用各种简单易懂的方式展现出来,大大提高了我们分析问题、解决问题的能力,希望有更多的工程技术人员可以从中受益。
注:JMP是全球顶尖的统计学软件集团SAS的业务部门之一,旨在为全球的客户提供专业的高端六西格玛统计分析解决方案;
JMP软件是目前最先进的六西格玛质量管理统计分析软件,易用、高效、高速,被誉为“六西格玛时代的统计分析大师”,是全球试验设计(DOE)方法的领导者。JMP支持对海量数据进行分析,具备卓越的运行速度;他以解决问题为中心,按照解决问题的思路设置菜单(常规统计软件大都按照统计方法设置菜单);JMP用交互性图形及卓越的可视化能力极大地降低统计方法应用的难度。目前,JMP已经在全球拥有超过15万名用户,遍布各个行业。在半导体行业,JMP已经成为一种行业标准,正在帮助英特尔、国民半导体、华虹NEC、中芯国际、日立、村田电子等国内外著名企业提升质量管理、优化业务流程和改善产品设计。
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