半导体设备：创新从实际出发 产品定位要准确

　　每一个半导体设备企业一定要根据自身产品的技术特点，集中研发适合于自身企业发展特点的半导体设备，才能逐步从根本上解决我国电子工业基础落后的局面。

　　“摩尔定律”为半导体产业的发展提供了加速度，在整个产业飞速发展的同时，对其进行支撑的设备制造业也需要通过不断创新、加快研究进程来满足整个产业的需求。

　　设备创新带动产业发展

　　半导体设备的发展本身就是技术创新的过程，IC产业的高速发展，其背后是以设备的创新和发展做支撑的，新的工艺技术总是用新一代设备实现的。

　　开发新产品适应市场的需求是每个企业必须考虑的问题，半导体设备企业也不例外。北京京联发数控科技有限公司董事长秦建国表示，半导体设备创新可以为用户提高生产能力和产品质量，降低产品成本。这样的创新产品会给企业及用户双方带来更好的效益。为了开发新的产品要不断地吸收高科技人才，对该行业的产品生产要有充分的认识，对该行业的发展方向要不断地了解情况，以便设备企业能跟上国内外半导体行业的快速发展，更快更好地为市场提供优质的设备。

　　中电科技集团第四十五所技术工程部主任张续业告诉记者，国内从事半导体设备研发制造的企业如果没有创新，面对国内外的大市场，就肯定没有可持续发展的后劲，就不会有美好的明天和很好的经济效益，更不会从根本上解决我国电子工业基础落后的局面，就会永远跟在国际先进技术后面无法超越。因此，每一个半导体设备企业一定要根据自身产品的技术特点，集中研发适合于自身企业发展特点的半导体设备，困难再大也要坚持下去，只有这样，才能逐步从根本上解决我国电子工业基础落后的局面。当然，在某些外部环境上还得寻求国家有关部委的政策性支持。

　　北京京运通科技有限公司副总经理王军在接受记者采访时表示，没有创新就没有生命力。我国半导体设备技术本身就落后于其他发达国家，所以企业创新能力也就是国家在该领域赶超其他国家的重要力量;其次，在技术飞速发展的信息社会，旺盛的创新能力是企业健康发展、产品满足市场的重要因素。

　　设备商应紧密联系用户

　　半导体行业的技术更新很快，设备厂商必须与用户紧密联系、合作，才能急客户之所急，才能不断推出客户需要的产品，并在使用中不断完善提高。

　　张续业告诉记者，从45所几十年的发展过程来看，虽然在样机研发、基础预研等方面填补了多项国家空白，为国家做出了相当大的贡献,但要进入大生产线尚需一定的时间。主要原因是我国的基础工业和配套能力与国外公司相比，差距太大，这是一个解决起来非常困难的系统工程，还需国内产业链上下端的企业共同做出艰辛努力，才能达到预期的目的。这是一条充满艰辛的道路，但也是一条必由之路。

　　用户对半导体设备的要求是提高自动化，提高设备的精度，把半导体设备制造得更好更完善需要更高的技术及资金，两方面缺一不可。秦建国表示，目前市场上半导体设备的竞争越演越烈，不断投入人力、财力、物力去研发新产品会使制造企业不断发展和壮大。国内半导体设备生产企业应跟上市场的发展，不断为市场提供高性能的设备，不断研究半导体的发展方向，开发和研制新的设备，把企业制造的设备推向国际市场。

　　设备厂商必须具备工艺研究和实验检测的能力，而在国内传统的研发体系下，引进与消化吸收是不同的主体，是完全割裂的，设备研制者不关注工艺研究，缺少或不具备必要的实验检测环节。沈阳芯源微电子设备有限公司总经理宗润福表示，在这种情况下，国内设备要进入大生产线还要假以时日。他说，很多人意识到国内设备进入大生产线还需哪些努力时的第一反应可能是呼吁国家政策扶持、倾斜，用户给机会。扶持倾斜也只能是针对首台套，要批量生产并产业化必须具备市场竞争力。他主张循序渐进，技术跨度不能太大，稳定压倒一切。只有产品稳定了，用户才放心，对厂商才有信心，厂商才能有下一个机会、下一个订单。

　　京运通副总经理王军强调说，国产半导体设备进入大生产线需要很长的一个过程。首先产品技术要升级，我国的半导体设备技术无论自动化程度、精细化程度还是节能水平,都还很落后;其次是产品定位要准确，要对适合大多数生产需要的产品进行定位;最后是整合制造设备新工艺，形成基本上自动化的制造工艺。当然，完善相关标准的工作也要跟进。