智能IMU增长快，Fairchild九轴MEMS蕴含多种技术

　　据IHS，IMU(惯性测量单元)预计2019年将达到20亿件市场规模，主要应用于增强现实与虚拟现实、智能手机、无人机、自动机器人/扫地机器人、智能手表和健身腕带、3D人体跟踪等。IMU对整体算法要求较高，因为传感器往往是六轴、九轴等多轴产品。

　　为了适合这种发展趋势，近日Fairchild公司推出 FIS1100六轴 MEMS IMU，集成了专有的AttitudeEngine运动处理器以及九轴传感器融合算法，实现了低至1/10的处理功耗，可用于支持运动、采用电池供电的应用中。

　　飞兆半导体市场发展总监陈俊称，结合 XKF3 传感器融合算法后，FIS1100 成为首款符合定位(四元素)规范的完整消费电子惯性测量装置，具有±3°的俯仰和侧滚准确度，以及±5°的偏航准确度。

　　另外，FIS1100 采用 Fairchild 的专有 MEMS 工艺，专门针对惯性传感器而设计。该工艺包括业界领先的 60 µm器件层(注：MEMS与AttitudeEngine之间)，具有高纵横比、硅通孔 (TSV) 互联和垂直电极，以及具有双真空设计的独特单芯片陀螺仪和加速计。

进军MEMS的背景

　　Fairchild是一家电源类公司，此次之所以推出传感器类产品，源于对Xsens(传感器融合算法XKF3)、Jyve(MEMS陀螺仪初创公司)等公司的收购。Fairchild 董事长和首席执行官 Mark Thompson 指出：“Fairchild 推出首款 MEMS 产品，这是个关键的里程碑，意味着公司将独特设计和制造专长应用到除电源以外的系统级解决方案。凭借因收购Xsens获得的先进算法和深度应用技术，我们支持客户开发针对各类快速增长的细分市场(如消费电子、工业和健康)的先进运动解决方案。”