沈阳大力推进机器人和IC装备产业发展

　　沈阳富创承担的“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，已得到国家“十二五”02重大专项支持。“这一技术突破，使我们在半导体装备，包括极大规模集成电路装备的零部件加工能力达到国际领先水平。该技术还可拓展到航空、航天、航海等领域。”企业相关负责人介绍。同时，中科仪、沈阳新松也获得千万元以上国家重大专项资金支持。

　　沈阳市科技局相关负责人介绍，沈阳将大力推进机器人、IC装备等产业发展，把沈阳打造成以机器人为核心的高端装备制造产业基地。

　　为推动机器人产业发展，沈阳将突出龙头企业的研发活动，并以中科院沈阳自动化所为依托，设立新型研发实体，围绕机器人产业链开展研发、中试相关工作，并鼓励一批高新技术人才创业。

　　今年，沈阳新松开展了智能型工业机器人应用研究，将力控制技术和视觉技术在机器人平台上进行集成应用，开发了研磨抛光工业机器人，主要应用于卫浴五金行业;视觉分拣机器人，可广泛应用于食品等行业;精密装配机器人，可应用于家电电子等行业。“在IC装备机器人方面，我们也进行了集成传输平台的研制。”新松相关负责人说。

　　IC装备产业方面，沈阳将在继续推动承担国家重大专项的同时，研究如何通过风险投资、股权激励等政策措施，鼓励企业发展壮大。

　　在IC装备产业方面，沈阳是中国具有较高影响力、较强产业优势的城市之一。仅今年上半年，沈阳IC装备企业就实现产值12亿元，同比增长11.6%，实现营业收入8.7亿元，同比增长11.5%，实现利润8500万元，上缴税金1600万元。

　　沈阳荆拓公司最新研发的12英寸高产能生产型PECVD设备，不仅与华进、苏州晶方等半导体公司签订设备采购合同，而且成功进入台湾市场，企业申请专利69项，已获得授权38项。沈阳芯源公司“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，截至目前已实现销售43台，销售额达5840万元，产品出口达650万美元，并向LED等领域辐射，销售额达1.08亿元。沈阳市科技局将组织实施机器人产业重大科技专项和技术成果转化工程，开展机器人产业创新服务体系建设。设立“机器人与智能制造创新研究院”，实现科研与产业有效衔接。