优质和供应稳定的威格斯材料有助晶圆制造厂提升产量

　　英国威格斯公司 (Victrex plc) 在供应链、技术与市场支持及新产品开发方面，持续进行战略性投资，致力为世界各地的客户提供稳定的高性能产品供应。由于其它工程塑料目前在供货方面出现问题，对于寻求高质量、高性能材料稳定供应的终端用户来说，威格斯公司及VICTREX PEEK 产品系列提供了非常理想的解决方案。近年来，许多半导体晶圆制造厂已经关注到用于化学机械磨平 (CMP) 保持环的工程塑料 (如某些聚苯硫醚 (PPS) 品级材料)，存在着供应不稳定或交货期极长的问题。VICTREX PEEK聚合物正好为这些应用领域提供公认的卓越性能。

　　目前，威格斯公司通过制造商 (fabricator) 的网络为世界各地包括欧洲、中国大陆、台湾、日本及韩国等地的许多晶圆制造厂供应 VICTREX PEEK 聚合物。Strasbaugh公司工程项目经理Bill Kalenian说：“我们多年来一直采用 VICTREX PEEK 聚合物制造CMP保持环，客户对效果非常满意。VICTREX PEEK 聚合物因其独特的性能，包括固有高纯度、强度、耐化学品性能及耐磨损性能，被公认为用于 CMP  
环的最佳高性能热塑性材料之一。由于 VICTREX PEEK聚合物具有满足严格公差的加工能力，并兼容抛光液 (slurries) 等工艺成分，因此非常适合于 CMP环应用，可以在制造过程中传送更多的晶圆，从而减少停工时间，并降低每片晶圆的成本。” Strasbaug 公司从美国德克萨斯州Humble市的CDI Seals 公司购买VICTREX PEEK聚合物。

　　威格斯公司美洲区半导体经理 John Walling 称：“这个领域的主要推动力之一是开发更好和更耐磨的CMP环，以配合其它关键CMP设备部件如CMP顶部装置的先进性能。以往，CMP环采用的材料包括PPS，但是实际试验表明，由VICTREX PEEK 聚合物制造的 CMP环，其使用寿命是PPS 产品的2.5倍。威克斯公司深切了解到市场对一致性的长寿命部件的需求，因此正在不断开发材料，从而与这些技术进展保持同步。”

　　Walling续称：“在半导体市场，尤其是CMP保持环方面，我们的高性能聚芳醚酮材料对于工艺的成败起着决定性作用。有些美国和亚洲客户因着我们的应用专业技术，加上VICTREX PEEK聚合物的固有高纯度、高强度特性以及优良耐化学品性能、耐高温性能和电气性能，以 VICTREX PEEK来取代PPS。VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环可以在制造过程中传送更多的晶圆，从而减少停工时间，并降低每片晶圆的成本。”



　　图1：VICTREX PEEK品级产品与PPS的磨损率对比 

　　数据是采用Rodel抛光垫及SS12氧化物抛光液，在磨擦 CMP测试仪中心所收集的。这些结果在多种环境下均已获得验证。

　　威格斯的供应链战略

　　威格斯公司商业总监 Blair Souder 称：“我们不可低估半导体领域供应稳定的重要性。对于半导体晶圆制造厂，在需要时能够及时获得材料是非常重要的。晶圆制造厂是每周7天、每天24小时不停运作的工厂，它们必须稳定地获得高质量而且批次一致的材料供应。如果无法获取所需的材料，因延误而造成的损失是无法估量的。因为这不仅是耽误了晶圆的生产，而且因终端产品推出日期推迟，随后对消费者市场产生的不良影响，也是十分严重的。”

　　保证供应及先于需求而作出投资，一直是威格斯业务战略的一部分。该公司在VICTREX PEEK聚合物及其关键单体的生产与供应方面是自给自足的。威格斯公司在供应链的两大关键组成部分进行了大量投资，首先，通过收购聚合物生产设施，然后进行升级，自下而上的整合了原材料供应链，以便更好地控制这些设施的质量和供应；其次，我们继续先于需求而增加产能，以确保对客户的供应持续。此外，我们最近正投资兴建另一家VICTREX PEEK聚合物厂，落成后将使总产能超过4,200吨。这些投资将帮助威格斯公司更好地控制供应、成本及质量，并确保向客户稳定供应我们的产品。