生长LED有机层的晶圆制程

生长LED有机层的晶圆制程方法有气相晶圆(VPE）、液相晶圆（LPE）、金属有机化学气相淀积（MOCVD）、分子束晶圆（MBE）。它们生长LED有机层的材料分别有气相晶圆CaAsp、GaP，液相晶圆GaP，GaAlAs，金属有机物化学气相淀积InGaAlP、InCaN，分子束晶圆ZnSe等。

气相晶圆比较简单，往往在晶圆生长后要再通过用扩散的方法制作PN结，所以效率低。

液相晶圆已能一炉生长60-100片，生产效率较高，通过稼的重复使用成本也已降得很低，可用以制造高亮度GaP绿色发光器件和一般亮度的GaP红色发光器件，也可用它制造超高亮度GaAlAs发光器件。

金属有机化学气相淀积法（MOCVD）是目前生产超高亮度InCaN蓝、绿色LED和InCaAIP红、黄色LED的主要方法，它既能精确控制生长厚度，又能精密控制晶圆层的组成。可用此法生长超高亮度LED结构中所需要的量子阱阶层和DBR反射结构种的20个左右的周期层，也适用于大量生产，是目前生产超高亮度LED的主要方法。

分子束晶圆目前主要用于研制ZnSe白色发光二极管，效果很好，能生长小于10A的晶圆层，确定是生长数度较慢，每小时约1mm，装片容量也颇少，生产效率较低。