国内集成电路装备产业的总结与展望

尖端光刻机设备及零部件方面的核心领军人物之一朱煜老师给大家分享集成电路最卡脖子的装备产业中值得思考的问题。

集成电路装备产业的春秋时期

众所周知，春秋时代周文王分封诸侯，而后形成春秋五霸。我国集成电路02 专项启动之后，在整体战略部署下，国内创新团队和企业已有一个整体布局，每个企业都有专攻的一个领域，如今从无到有，从低端到高端，已经实现了一个非常好的水平。

在“春秋时代”，各企业一般是专攻1~2 种装备，并且都是从0 开始去追赶，在02 专项重要的支持下，各企业纷纷取得突破。在企业数量有限的情况下，针对一个装备，在“多选一”的条件下，竞争激烈，因而各企业基本不会研发相同的设备。在专项的部署下，企业与装备形成一个完整的覆盖面，形成“分封”的局面。经过大家的努力与专项支持，各企业在擅长的设备领域发展迅速，并从而形成一个良性互补的状态，并且与国外的技术差距逐步缩小，在补齐设备短板的同时，产业链条也变完整，基本上具备了一定的规模。

朱煜老师随后盘点了集成电路装备中的几家核心企业，首位提到的是上海微电子，其在2002，是第一家成立的集成电路装备公司，可谓是集成装备领域“最硬的骨头”，目前它的装备涵盖了前道光刻机、封装光刻机和平板显示光刻机。第二位是北方微电子，其在2001年注册成立，经过多年对光刻机的攻关，一步步发展壮大，目前在专项当中是非常核心的装备企业。中电科集团的技术非常扎实，先后在离子注入机、化学机械抛光以及在封测设备方面取得了一系列的突破，在产业当中有极大的贡献。最后提到了中微半导体，其是一家海归企业，也是一家明星企业，因为在刻制机方面的突破，使得美国放松了对中国刻制设备的限制，并在国际上具有一定的影响力。但除了这几家企业之外，国内其它企业在这个阶段也获得了良好的发展，在各自擅长的领域专攻技术，实现突破，达到了一个百花齐放的情况，也为如今国内技术蓬勃发展打下坚实的基础。

在2018 年时，02 专项的资金已经用完且基本停止布局新项目，并在2021 年完成了正式的专项验收，因此各企业失去了资源的推动力量，从而进入所谓的“战国”时代。

集成电路装备产业的战国时期

“战国”格局形成的一个重要外部条件是当时正是中美科技战越打越烈的阶段，因而影响了整个运行环境。国内大生产线的企业非常需要好的设备，并希望更多企业能够解决“卡脖子”的难题。经过“春秋”时期，每家企业实力逐渐增强，甚至有独立融资发展的能力，随着19 年科创板开板，大批集成电路装备企业登陆了科创板，陆陆续续的在资本市场获得新的发展。

也使得企业有能力和资源拓展自己的产品线，每一种设备都出现了两家甚至更多的竞争者，也就进入一个新的时代，就是“战国”时代，现在仍处于这个时代。在光刻、刻蚀、薄膜以及CMP 等技术领域，我国已培养大量科研人员，并有大批龙头企业脱颖而出，形成强劲的战斗力。企业、科研实验室及设备供应商群雄纷争，并且还在不断出现新的竞争者，哪家做的好，优势大，客户就会选择谁，“战国”局面日益凸显并仍在不断扩大。

总体来讲，“战国”时代体现出来的是一个混战，互相竞争。大家都熟悉“内卷”这个词，现在集成电路的方方面面也开始“卷”了起来，尤其是装备领域，具体体现在同质化竞争，各企业关注眼前利益，用最快的方式，例如通过“挖人”来获取一些技术，这种方式带来的只是浪费，中国的集成电路装备企业多但资源有限，且要面对国外的打压、技术的限制，甚至一些极端性行为，在此情况下，自己内部还在混战，内忧外患，这非常令人担忧，这种情况如果任由发展，只会愈演愈烈，带来的处境是非常残酷的。

所以当下必须要改变这样的状况，要正面的面对这样的一个局势，消除“内卷”是要共同进行努力，中国有一个典故是“从天下大乱进入天下大治”，中国的集成电路装备产业在外有艰巨的压力和发展环境，因而内部必须要有措施应对。首先要肯定，在市场机制下的自由竞争并不是坏事，不应反对竞争，也不应反对市场机制，但容易忽视的是国产化率不容乐观，目前在装备方面还不能实现高度国产化，尤其在先进工艺节点，仍有很多设备目前还接近于空白。那么在美国、日本和欧洲企业这样的一个垄断之下，国内仍需发展进步。其次在客户端也同样面临挑战，国产设备仍未形成体系化，对于某些特殊的工艺需求，或针对一些关键工艺，我们的生产线仍不能完全满足需求，无法保证其良率。

竞争要靠技术上的先进性，并不是打价格战、靠“内卷”，用销售的手段来抢订单，打价格战来获得订单。这种恶性竞争，它基于的不是创新驱动，从本质上，这不应作为竞争的主要方向。

在我们设备的零部件及材料仍然受限的情况下，设备的关键零部件、传感器和各种材料生产难度非常大，投入成本也高，而且每一个关键零部件其实是不成规模的，没有多少企业愿意做。因此这种情况会严重的制约设备企业的发展，需要把更多的精力用在培育零部件的供应体系上，对于装备企业是长远发展的一个基础，这样才有后面的动力，需重点关注。

想要消除畏惧，营造健康的一个发展生态，首先要从产业目标出发，主要强调协同创新，在内循环的基础之上进行合理分工，良性竞争。不要做恶性竞争，更不要去做低水平的复制，要有创新，没有创新，最后结局仍是整体被卡住。

共建集成电路装备产业命运共同体

装备产业也不能光看装备，要各个环节同步发展，一些基础性的关键零部件，需要很多厂商共同来开发，要资源共享、共同开发。缺乏信任，资源封闭对于整个产业的发展是负向作用，朱煜老师认为共建产业链的上下游兼同行之间的彼此信任，推进产业的融合发展，实现资源的共享，必须要“打群架”，齐心协力。集成电路装备产业的技术壁垒和门槛非常高，能进入这个行业的企业是有限的，希望大家术业有专攻，发挥自己特长，都去做高端设计，不要去做赚快钱的事，各个企业要在擅长的赛道里头做精做细，做做到国际水平，真正把国产品牌做大做强，按照商业规则建立利益分享机制，尊重技术的创新规律，保持定力，持之以恒，巩固集成电路的命运共同体。

同时也希望国家加大政策支持力度，吸引社会资本对国产设备的投资。把握行业成长的规律，为不同发展阶段的企业提供精准性支持，同时也呼吁各个资本市场的有机组成部分发挥越来越大的作用，为半导体行业的命运共同体做出贡献，同时也相信国产企业必然会不断崛起，真正立足于国际市场。

（本文来源于《EEPW》2023年11月期）