ADI发布新款MEMS：从技术出发，改变生活

　　我们常常听到一句话“科技改变生活”，在智能化数字化的今天，形形色色的硬件设备无时无刻不在改变着我们的生活。而在生活中常见的运动手表、汽车传感器、灾害预警系统内，MEMS传感器是必不可少的器件之一。

　　那么到底什么是MEMS？MEMS即微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技半导体装置。微机电系统的内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。8月29日，在ADI的MEMS新品媒体会上，ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉先生分享了ADI在MEMS产品上的创新之处。

　　据介绍，ADI的MEMS可以做五大类运动传感，而这些运动传感都与我们日常生活、行业社会的发展息息相关。ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉表示：“MEMS传感器可以测量加速度（Acceleration）、转动（Rotation）、冲击（Shock）、倾角（Tilt）、振动（Vibration）等多种信号。”这五类运动传感囊括了我们日常生活中绝大部分的行为感知，但是随着应用场景越来越苛刻，对MEMS产品的要求也越来越高。

　　超低功耗MEMS的应用场景有很多种，消费类、医疗急救、植入式医疗、工业生产以及汽车上都会有MEMS的身影。而MEMS元件上的微小功耗和噪声技术突破，都可以为整个终端产品带来巨大影响。例如在除颤器、心脏起搏器等急救医疗设备上，更低的功耗元件能够保障这些设备在公共场所更长时间的使用，为需要被急救的人带来更多生的希望；在灾害预警设备中，更低的噪声将会提高MEMS的精确度，带来更精准更快速的灾害预警，更大程度上避免人员和财产损失。由此不难看出，超低功耗的MEMS在现代生活中的重要性。

超低功耗体验的ADXL367

　　ADI在追寻先进科技术的路上始终在超越自我。2012年ADI发布了一款超低噪声加速计产品——ADXL362，至今仍具有市场竞争力，但ADI没有满足于此。赵延辉向我们介绍，新产品ADXL367颠覆了传统产品的指标结构，在前代的基础上性能更上一层楼。

　　与前代产品相比，ADXL367的面积缩小了47%，高度减少了20%，整体大小在2.2×2.3mm左右，数字分辨率也从12位提高到14位，工作电流更是扩展到最小0.88μA，同时还能切换休眠模式和唤醒模式。而这些还远不够惊艳我们，赵延辉在介绍ADXL367时表示：“ADXL367在噪声密度上也进行了非常大的改观，尤其是在超低功耗的模式下，目前ADXL367在X、Y、Z三个轴都做到了375µg/√Hz的水平。”那么低噪声带来哪些好处？举个例子，在类似心脏、呼吸等条件检测应用中，传感器凭借其超低噪声的模式可以捕捉到非常微小的变化。而且还能极大地降低仪器对工作环境、位置的要求，以及简化了使用者的应用成本。

服务新兴市场的ADXL314

　　媒体会上，赵延辉向我们介绍了ADI推出的新款车规级低功耗低噪声大量程的三轴加速度计——ADXL314，以适应更多新兴应用，例如能够用于汽车胎压监测、电动车电池检测以及碰撞检测、EDR等场景。与传统的胎压监测不同，ADXL314不仅具有压力传感还配备了加速度计作为启动开关来触发胎压监测。比如车一启动，这时会有一些加速度的变化，然后再启动胎压监测。另外一些胎压监测则需要配合车的运行速度来进行判断。

　　在新能源车十分火热的同时，消费者也在关心着车内电池包的安全问题，屡见不鲜的电池泄露、燃烧等问题成为行业痛点。例如，电池在发生严重事故时会出现冒烟情况，通常会涉及到两大类技术，一类是碰撞监测，一类是烟感检测。ADXL314解决的是碰撞检测的问题，它可以根据不同等级的加速度来告诉电源管理系统采取何种保护措施。而这是电源行业和新能源车行业未来发展的趋势之一。

高性价比的ADXL359

　　据赵延辉介绍，ADI在2017年曾发布过一系列低噪声产品，包括ADXL356和ADXL357，在农业自动化、无人机领域以及振动领域里都有非常好的市场反馈，但为了满足客户对CBM和IMU的需求，ADI推出了这款ADXL359。

　　ADXL359的优势在于3轴中等量程以及出色的稳定性，振动整流误差非常小。比如农业拖拉机或者AGV经过减速带发生振动的同时，ADXL359依旧能捕捉姿态或位置，提供优异的振动整流误差值。并且ADXL359在3轴方向上均具有低噪声特性，还附带了高通滤波器。

　　在MEMS领域，ADI是资深玩家，技术革新上具有前瞻性。这次ADI推出三款新品不仅仅是处于市场行业的需求，更引领了MEMS领域的技术发展方向。正如赵延辉向我们分享关于ADI在MEMS领域的创新故事：“世界范围内，在采用了ADI sensor安全气囊的汽车中，正由于安全气囊的弹出而解救人命。曾经有一个统计数据显示，因采用ADI的安全气囊sensor，全球每天都会有8个人被获救。“对于科技企业，技术突破固然是产品迭代的动力，落实到以人为本，改变人类生活则更是一种科技精神。