台积电采购30台EUV光刻机冲刺7/5nm，ASML就近设立培训中心

台积电在高端制程技术上冲锋陷阵，已经成为光刻机龙头 ASML 在 EUV 机台上的最大采购客户，累计已经购买了 30 台 EUV 设备。日前，ASML 继在韩国成立 EUV 技术培训中心后，也在台积电先进制程的重镇台湾台南，成立 EUV 技术培训中心。

一台EUV系统需要50个工程师操作

一台造价逾一亿欧元的精密 EUV 系统，重量高达 180 公吨，每次运输要用三架货机才能运完，里面包含 10 万个零件、4 万个螺丝、3000 条电线、2 公里长的软管。

再者，一台高度精密的 EUV 设备，大概需要 50 个工程师来进行操作。因此，EUV 工程师的技术培训对 ASML 而言非常重要。

ASML 指出，将一个新手工程师培育成为技术熟稔、可独自作业的 EUV 工程师，需要经过 18 个月的训练。

过去，全球的 EUV 工程师，即使只负责部分专业技术，都必须前往 ASML 荷兰总部接受长达数月的培训。

ASML 表示，自从新冠疫情之后，全球企业的差旅活动有非常多的限制，因此，台南的 EUV 全球技术培训中心也为新进工程师提供 EUV 基础训练课程，提供半导体客户一个相对安全且经济的培训方式。

台积电十年前投入 EUV 研发

台积电是 ASML 全球重要的策略伙伴，ASML 是在 1988 年交付给台积电第一台光刻机，并于 2003 年在新竹成立台湾总部办公室。

2010 年，ASML 提供第一台 EUV 光刻机原型机给台积电进行研发工作，这是全球光刻技术非常重要的一年；2017 年，ASML 更交付第一台量产型 EUV 光刻机 TWINSCAN NXE : 3400，写下商用 EUV 制程技术的新里程。

台积电已经采购 30 台 EUV 光刻机，冲刺 7nm 和 5nm 制程技术的量产; 未来针对 3nm 技术的光刻机也将更先进。

目前最新的 EUV 光刻机NXE:3400C 每小时可处理吞吐的晶圆 WPH（Wafer Per Hour）已将到 170 片，主要用于 7nm 和 5nm 制程; 相较于 NXE:3400B 每小时处理晶圆片数 125 片更为提升。

目前，ASML 在台湾的员工约 2,800 人。除了随着客户晶圆厂据点设立办公室之外，也有林口厂是负责机台翻修、光罩传输 (Reticle Handler) 模块生产与 YieldStar 光学量测设备生产; 另外的台南厂则专注于电子束 (ebeam ) 和多光束 (multi-beam) 检测设备制造。

ASM 最新设立于台南的 EUV 全球技术培训中心，座落于台南科学园区，临近台积电高端制程的 12 寸厂。该培训中心配备实机模块 （live module），提供技术理论课程和无尘室实机操作课程等培训内容。该中心目前有 14 位讲师，估计每年可提供数千小时的课程，每年培育 360 个 EUV 技术工程师。