台积电推出性能增强版的7nm和5nm制造工艺

近日外媒消息，台积电已经悄然推出了 7nm 深紫外（N7 / DUV）和 5nm 极紫外（N5 / EUV）制造工艺的性能增强版本。

台积电推出性能增强的7nm和5nm制造工艺

其N7P 和 N5P 技术，专为那些需要运行更快、消耗更少电量的客户而设计。尽管 N7P 与 N7 的设计规则相同，但新工艺优化了前端（FEOL）和中端（MOL）制程，可在同等功率下将性能提升 7%、或在同频下降低 10% 的功耗。

在日本举办的 2019 VLSI 研讨会上，台积电透露了哪些客户已经可以用上新工艺，但该公司似乎并没有广而告之的想法。

N7P 采用经过验证的深紫外（DUV）光刻技术，与 N7 相比，它没有增加的密度。

有些需要高出约 18~20％ 晶体管密度的 TSMC 客户，预计需要使用台积电的 N7+ 和 N6 工艺，后者使用极紫外（EUV）光刻技术进行多层处理。

尽管 N7 和 N6 都是未来几年的“长”节点，但台积电会在下一个 N5 节点带来显著的密度、功耗和性能改进。

N5 之后也会迎来一个叫做 N5P 的增强版本，辅以 FEOL 和 MOL 优化，以便让芯片在相同功率下提升 7% 的性能、或在同频下降低 15% 的功耗。

（文中图片来自互联网）