MEMS加速度计的振动校正

振动校正的来源

振动校正误差(VRE)是加速度计对交流振动(被整流为直流)的响应，表现为加速度计失调的异常偏移。在倾角计等应用中，这是一个重大误差源，因为加速度计的直流输出是目标信号，失调的任何改变都可能被错误地解读为倾角变化，导致误差一路向下传递，从而引起安全系统误触发、平台稳定或钻桅对准机制过度补偿等。

VRE高度依赖于加速度计所经受的振动特性曲线，不同应用施加于加速度计的振动模式会不同，因而VRE可能不同。振动校正有多种发生机制，本文讨论其中的两种。

非对称轨

第一种机制是非对称轨。重力产生一个静态1 g (9.8 m/s2)加速度场，当加速度计敏感轴竖直对齐时，其测量范围会有一个偏移。2 g满量程范围的传感器与重力加速度对齐时，将只能测量1 g峰值振动，否则响应会被削波。超过1 g的对称激励信号的平均值将不为零，原因是在经受额外1 g加速度的方向上，电平会被削波。

图1.±2 g满量程范围的加速度计因为非对称削波而产生的振动校正图解

图1中，一个激励振动信号施加于2 g满量程传感器上。当振动为0.3 g rms(300到600样本之间)时，失调没有可观测的偏移。然而，当振动为1 g rms(600到1000样本之间)时，VRE约为–100 mg。

VRE可建模为一个截断分布的平均偏移，受加速度计满量程范围的限制。当传感器在1 g场中经受随机振动时，输入激励信号可建模为一个平均值μ= 1 g且标准差σ= X的正态分布，其中X表示输入振动幅度均方根值。传感器输出建模为双截断正态分布，输出值下界和上界分别为–R和+R，其中R为传感器的最大范围。此双截断正态分布的平均值计算如下：