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国产首台套LED核心装备成功下线

—— 为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础
作者:时间:2012-12-16来源:电子信息产业网收藏

  上海有限公司研制开发的核心制造装备——— 金属有机物化学气相沉积()设备日前成功下线,该公司已与我国台湾一家光电公司签订了37台套设备应用验证合同,为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础。

本文引用地址:http://www.amcfsurvey.com/article/140126.htm

  作为重要的新型绿色光源产品,设备是整个照明产业链中最关键的制造装备,其设备成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高,制造工艺复杂,目前全球的设备市场主要被国外两家设备供应商所垄断。

  上海设备有限公司利用不到两年的时间自主研制了具有单腔产能84片2英寸外延片的单腔体MOCVD反应腔,以及3腔体252片产能的簇式多腔体自动化MOCVD系统,突破了国外同类MOCVD装备的技术开发壁垒。



关键词: 理想能源 LED MOCVD

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