EDWARDS宣布达到尾气处理系统安装里程碑

　　全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司宣布达到具有重大意义的里程碑——自20年前进入市场以来，公司销售的尾气处理系统超过了1万台。此外，在VLSI Research针对半导体和平板显示器产业的报告——2011年前十大关键分系统供应商(Top 10 Suppliers of Critical Subsystems 2011)中，Edwards公司排名第二(详见注释)。

　　Edwards排气管理系统产品经理Steve Cottle称：“业界对环境和气候变化日益关心，这促使人们更多地意识到，需要减少排放各种可能的有害工业副产品。例如，2011年我们应用于客户设施的系统负责减少了大约850万公吨的二氧化碳排放，相当于英国全部工业工艺，全年度二氧化碳净排放的98%。”

　　VLSI Research(欧洲)CEO John West表示：“2011年对于关键分系统供应商是创纪录的一年。销售额增长9.3%，达到78.8亿美元。产业发展的主要推动力是对于32nm以及以下工艺半导体制造设备的资本投入。”

　　Edwards所销售的大部分尾气处理系统一直是公司的内向火焰燃烧室(inward fired combustor)产品系列，包括TPU以及Atlas系列产品。由于这些系统具有经过生产验证的性能和极高的可靠性，在过去十年里，Edwards的内向火焰燃烧室产品已经成为最畅销的燃烧尾气处理系统。

　　在地域方面，美国仍然是Edwards公司这些系统的最大市场。然而，亚太地区的高科技制造快速增长且环保法规要求日益严格，二者结合推动Edwards在亚太地区实现显著增长。

　　Cottle补充说：“我们一方面非常高兴达到这个重要的里程碑，同时也对通过减少有害温室气体排放而改善环境而感到自豪。”