AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反应器

　　AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反应器——CRIUS II-L MOCVD反应器，将MOCVD反应器的容量、生产能力和LED生产成本都提升到新的高度，具有生产16x4英寸或69x2英寸晶圆的能力。

　　AIXTRON公司表示，新的MOCVD反应器是基于经过市场验证的CRIUS II平台而开发的，可以保证高性能氮化镓(GaN)LED生产过程的无缝迁移。

　　营销副总裁Rainer Beccard表示，降低制造成本是LED产业的一个关键问题，尤其在固态照明产品中。与MOCVD相关的制造成本中，反应器的产能仍然是影响制造成本的关键因素。

　　据悉，CRIUS II-L经过生产验证，确认是目前世界上最大的MOCVD反应器。另外，CRIUS II-L反应器还针对2-8英寸晶圆的生产进行了优化设计，将大大提高生产力。