应用材料公司推出全新PECVD系统

　　应用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系统，用于制造最先进的智能手机和平板电脑中所采用的高性能有源矩阵OLED和TFT-LCD显示屏。通过采用LTPS关键技术，该系统可将高度一致的薄膜沉积至1.95平方米的玻璃板上——该玻璃板是以往标准尺寸的三倍。这将使显示屏制造商大幅提高产量，降低成本，从而加快消费电子产品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向转变。

　　OLED显示屏具有丰富的色彩和低功耗特性，因此智能手机对4~5英寸OLED显示屏有着强劲的需求。下一代平板电脑将采用更大的7~12英寸的OLED显示屏，这就需要显示屏制造商大幅提高产能以满足市场需求。除了能生产更大的OLED显示屏外，应用材料公司的AKT-20K PX系统还可用于制造超高清晰度的TFT-LCD显示屏。和以前的技术相比，这种显示屏的像素排列紧密，因此能够呈现更明亮、更鲜锐的画面，同时功耗更低。

　　AKT-20K PX系统的核心是先进的LTPS技术。近十年来，应用材料公司已使这项技术日臻完善。迄今为止，应用材料公司已在全球交付近100套可将LTPS薄膜沉积在较小衬底上的系统。市场研究机构DisplaySearch的报告显示，2011年，LTPS沉积设备的市场规模将达到有史以来最高的24亿美元。

　　应用材料公司副总裁、平板显示事业部总经理Tom Edman表示：“应用材料公司充分利用在大面积沉积技术领域近二十年来的领先优势，帮助客户满足消费者对OLED显示屏快速增长的需求。我们扩展了已通过生产验证的LTPS沉积技术，将其应用于最新的多反应腔平台，向客户提供一流的性能和生产率。目前市场对AKT-20K PX系统反响非常好，我们已向多家主要的显示屏制造商交付了多台设备。”

　　欲了解更多关于应用材料LTPS创新技术的详细情况，请访问：http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/akt-20k-px-pecvd.

　　应用材料公司将于3月15日至17日在上海举行的2011中国国际平板显示器件、设备材料及配套件展览会期间展示AKT-20K PX 系统。欲了解更多应用材料公司在展会期间的活动，请访问：www.appliedmaterials.com/events/semicon-china-2011。