MEMS将迎来第三次发展浪潮

　　MEMS迎来第三次浪潮

　　据ADI公司预测，先进、高性能的MEMS(微机电系统)加速计及陀螺仪将转换成各种不同的新型应用。因此，我们正在迎来一个应用MEMS的新浪潮，驱动这股浪潮的是人们对MEMS运动传感器能力的意识获得了提高。第一次浪潮是20世纪90年代由汽车安全系统驱动的;第二次浪潮是21世纪由消费类产品推动的。

　　ADI的副总裁兼总经理Mark Martin展示了发展图，由图1可见，工业和医疗是增长速度最快的领域。在对更高水平性能需求的推动下，ADI对机器人、机器安全监测以及便携式医药设备方面提供iMEMS和iSensor运动信号处理技术。

　　世界主要MEMS传感器供应商之一Bosch Sensortec公司CEO(首席执行官)Frank Melzer也认为今年MEMS将继续增长。他说，加速度计大批量交付给客户设备始于2006/2007年，并于此后经历了高速增长的阶段。由于移动电话已占据了最大的市场份额，因此，人们相信MEMS市场仍能进一步推动未来的成长。

　　Gartner公司调查总监Stephan Ohr从宏观上分析了MEMS的增长态势。Gartner把MEMS分为光学和非光学两大类。光学MEMS如TI公司的DLP(数字投影芯片)。非光学MEMS传感器年增长率16.2%(图2)，2010年市场容量会突破30亿美元，有望达到31亿美元;2009年为28亿美元。其中，汽车应用仍然保持非光学传感器的第一位，占2009年总应用中的60%以上;但是数据处理和通信应用增长最快，数据处理包括硬盘的G-Force(重力)传感器，通信中包括手机的可旋转(rational)的传感和基于位置的服务。

　　Yole Developpement公司给出了MEMS代工的发展(如图3)，也可以看到2010年以后，将迎来新一波浪潮。