“909”升级改造:立足国内寻求突破
在厂房林立的上海张江高科技园区,宏力半导体赭红色的办公楼显得格外引人注目。1月19日,备受半导体业界关注的“909工程升级改造———12英寸集成电路生产线项目”在这里正式启动,由华虹集团和宏力半导体合作成立的上海华力微电子有限公司也于当日揭牌。
本文引用地址:http://www.amcfsurvey.com/article/105593.htm先进生产线入驻“空巢”
作为“909工程升级改造”项目的承担单位,上海华力微电子是整合地方资源优势的结果。“909”工程于1996年开始实施,3年之后,由上海华虹集团承担的我国第一条深亚微米8英寸集成电路生产线投产,目前华虹具备每月7.5万片8英寸晶圆的生产能力;宏力半导体则是我国较早采取晶圆代工模式的集成电路制造企业,自2003年正式投产以来,目前产能已提升至月产4万片8英寸晶圆。
“宏力半导体的生产厂房从一开始就是按照12英寸集成电路生产线的规格设计的。”来自中国电子工程设计院、曾参与设计宏力半导体生产厂房的工程师对记者回忆道,“除了目前正在使用的厂房外,当时还设计并建造了同等规格的厂房,为远期发展作准备,而这座厂房目前还处于空置状态。”
“909工程升级改造”项目的生产线将“落户”于这座空置的厂房内。从上海华力微电子披露的信息来看,该项目产品为12英寸集成电路晶圆片,以加工逻辑芯片和闪存芯片为主,加工精度为90纳米、65纳米和45纳米,设计产能为月产3.5万片;该项目预计投资总额为145亿元,其中注册资本为66亿元,在注册资本的构成中,由上海地方投资45亿元,华虹、宏力等企业共同出资21亿元。
据介绍,一座12英寸集成电路厂房的土建工程设计与施工大约需6个月。
“909工程升级改造”项目选择了宏力半导体已经建好的厂房,将使项目建设周期缩短半年。对于竞争异常激烈的集成电路制造业来说,这半年时间有时候会起到决定性的作用。
树立909工程第二座里程碑
“集成电路的发展趋势就是晶圆尺寸增大,光刻线宽变小,同时单个晶体管的成本不断降低。集成电路制造工艺水平的提升会给消费者带来实惠。”在接受《中国电子报》记者采访时,中国半导体行业协会执行副理事长徐小田对“909工程升级改造”项目的实施表示了肯定。据徐小田介绍,目前我国每年还要进口大量的集成电路,该项目的实施将为提高集成电路的国产化率作出贡献。
“12英寸集成电路生产线的建设可以视为909工程的第二座里程碑。”上海市集成电路行业协会常务副秘书长赵建忠对《中国电子报》记者表示,“集成电路芯片制造也在半导体产业链中具有基础作用。909工程升级改造项目的实施,不仅意味着我国集成电路制造水平的提升,而且对我国集成电路设计业和装备业都具有很大的支撑作用,将对我国集成电路产业具有深远影响。”赵建忠同时表示,国家强调集成电路产业应自主可控地发展,华力微电子的国资背景体现了这一原则;此外,集成电路制造业的自主可控发展必将为设计和装备业的自主可控发展提供可靠的保障。
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