据台积电向台湾证券交易所(TSE)递交的文件,台积电2009年的设备支出达1450亿新台币(约合45.7亿美元),其竞争对手联电的支出为220亿新台币。
本文引用地址:http://www.amcfsurvey.com/article/102620.htm
台积电向Applied Materials订购了280亿新台币的设备,向ASML订购了240亿新台币的设备,向TEL、Dainippon Screen和KLA-Tencor订购了100亿新台币的设备。这些主要的设备商几乎占了台积电设备支出的70%。
台积电预计将于2010年第一季度开始28nm低功耗工艺的试产,并在第二季度和第三季度开始28nm高性能工艺的试产。
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